エリプソメトリ

日本語エリプソメトリ
中国語(簡体字)椭偏仪/椭圆偏振测量
Englishellipsometry
分野半導体・電子部品

定義

偏光の変化から膜厚と屈折率を求める測定法。

訳し分け・誤訳の注意

装置は「椭偏仪」、測定法は「椭圆偏振测量」。装置名と手法名を書き分ける。

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