イオン注入

定義

不純物イオンを加速してウェハ表面に打ち込み、濃度と深さを制御してドーピングする方法。

訳し分け・誤訳の注意

「离子注入」で確立している。ドーズ量は「剂量」、加速エネルギーは「能量」。

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