エッチング

定義

レジストで保護されていない部分の膜を除去し、パターンを形成する工程。ドライとウェットがある。

訳し分け・誤訳の注意

中国本土は「刻蚀」、台湾では「蝕刻」が一般的。繁体字版を作る場合はここが分岐点になる。ドライ／ウェットは「干法／湿法」。

実務での出現場面

工程指示書、装置マニュアルの処理条件章、不良解析報告書に現れます。ドライとウェットで装置も薬品も異なるため、どちらかを明示せずに「エッチング」とだけ書かれた原稿は、訳す前に確認が要ります。

実際に起きる失敗

「エッチング」とだけ書かれた原稿をドライ前提で訳したところ、実際はウェット工程で、薬品と設備の記述が全て食い違った例があります。方式が明示されていない場合は、推測せず発注側に確認します。

対訳の実例

ドライエッチングにより不要な膜を除去します。／ 通过干法刻蚀去除多余的薄膜。

本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。