アニール

定義

加熱処理により結晶欠陥を回復させ、注入した不純物を活性化する工程。

訳し分け・誤訳の注意

「退火」。金属分野の焼きなましと同じ語で、半導体でもそのまま使う。RTA（急速熱処理）は「快速热退火」。

実務での出現場面

加熱処理により結晶欠陥を回復させ、不純物を活性化する工程です。金属の焼きなましと同じ語を用い、半導体でもそのまま使います。RTA など方式ごとに語が分かれ、温度と時間が条件になります。雰囲気ガスの種類も条件に含まれ、酸化を防ぐ目的で不活性ガスが指定されます。

実際に起きる失敗

方式を明示せずに「アニール」とだけ訳した条件表があり、急速熱処理か通常の熱処理か判断できませんでした。方式は条件の一部です。

対訳の実例

1000℃ でアニールします。／ 在 1000℃ 下退火。

本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。