アニール

定義

加熱処理により結晶欠陥を回復させ、注入した不純物を活性化する工程。

訳し分け・誤訳の注意

「退火」。金属分野の焼きなましと同じ語で、半導体でもそのまま使う。RTA（急速熱処理）は「快速热退火」。

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