リソグラフィ

定義

露光装置を用いてマスク上の回路パターンをウェハ上のレジストに転写する工程。

訳し分け・誤訳の注意

「光刻」が定訳。装置名としては「光刻机」（露光装置／ステッパ・スキャナ）となる。日本語の「露光」を単独で「曝光」と訳すと、工程名ではなく露光動作そのものを指すため、文脈により使い分ける。

実務での出現場面

工程フロー図の工程名、装置仕様書の対象工程、特許明細書の実施例に現れます。日本語では「露光」「リソ」と略されることが多く、略称のまま訳すと工程名として通じません。

実際に起きる失敗

工程フロー図の中で「露光」だけが原語のまま残り、他工程は中国語という混在が起きます。図中文字は編集可能な形式で渡されないことが多く、翻訳対象から漏れる典型例です。着手前に図の形式を確認します。

対訳の実例

リソグラフィ工程で回路パターンを転写します。／ 在光刻工序中转印电路图形。

本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。