PVD(物理気相成長)

日本語PVD(物理気相成長)
中国語(簡体字)物理气相沉积
Englishphysical vapor deposition
分野半導体・電子部品

定義

スパッタリングや蒸着など、物理的な現象により薄膜を形成する成膜方法。

訳し分け・誤訳の注意

「物理气相沉积」。スパッタは「溅射」、蒸着は「蒸镀」。

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