フォトレジスト

定義

露光によって溶解性が変化する感光性樹脂。ウェハ上に塗布し、回路パターンを転写するために用いる。

訳し分け・誤訳の注意

中国語は「光刻胶」。「感光胶」と訳した文書を見ることがあるが、半導体の工程文書では通じにくい。ポジ型／ネガ型は「正性／负性」で対応する。

実務での出現場面

成膜・露光工程の作業標準書、薬品の安全データシート、購買仕様書に現れます。感光性の材料であるため、保管条件（遮光・温度）と有効期限の記述が必ず伴い、そこが翻訳で落ちると現場の管理項目が消えます。

実際に起きる失敗

有効期限と保管温度の記述が仕様書の末尾にあり、本文だけを訳して付表が漏れた例があります。感光材料は期限を過ぎると特性が変わるため、この一行が欠けると受け入れ側で管理項目が立ちません。付表・脚注は本文と同じ優先度で扱います。

対訳の実例

フォトレジストは遮光状態で冷蔵保管してください。／ 光刻胶应避光冷藏保存。

本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。