ALD(原子層堆積)

日本語ALD(原子層堆積)
中国語(簡体字)原子层沉积
Englishatomic layer deposition
分野半導体・電子部品

定義

原子層単位で膜を積み上げる成膜方法。段差被覆性に優れる。

訳し分け・誤訳の注意

「原子层沉积」、略称 ALD。

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