カセット/FOUP

日本語カセット/FOUP
中国語(簡体字)晶圆盒/前开式晶圆传送盒
Englishcassette / FOUP
分野半導体・電子部品

定義

ウェハを収納・搬送する容器。

訳し分け・誤訳の注意

「晶圆盒」。FOUP は略号のまま用いることが多い。

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