チャック（保持機構）
| 日本語 | チャック（保持機構） |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 卡盘 |
| English | chuck |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
定義
ウェハや工具を保持する機構。静電チャック、真空チャックなど。
訳し分け・誤訳の注意
「卡盘」。静電チャックは「静电卡盘」（ESC）。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。
| 日本語 | チャック（保持機構） |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 卡盘 |
| English | chuck |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
ウェハや工具を保持する機構。静電チャック、真空チャックなど。
「卡盘」。静電チャックは「静电卡盘」（ESC）。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。