限界寸法(CD)

日本語限界寸法(CD)
中国語(簡体字)关键尺寸
Englishcritical dimension
分野半導体・電子部品

定義

パターンのうち性能を左右する最小寸法。工程管理の基準となる。

訳し分け・誤訳の注意

「关键尺寸」。CD 測定は「关键尺寸测量」。「临界尺寸」も見られるが「关键尺寸」が優勢。

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