検査（欠陥検査）

定義

ウェハ表面の異物や欠陥を検出する工程。

訳し分け・誤訳の注意

「检测」。計測（量测）が寸法を測るのに対し、検査（检测）は欠陥の有無を見る。装置カタログでこの二つを混同すると、機能の説明が入れ替わる。

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