マスフローコントローラ
| 日本語 | マスフローコントローラ |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 质量流量控制器 |
| English | mass flow controller |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
定義
ガスの流量を質量基準で制御する機器。
訳し分け・誤訳の注意
「质量流量控制器」、略称 MFC。単位 sccm は訳さず原表記。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。
| 日本語 | マスフローコントローラ |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 质量流量控制器 |
| English | mass flow controller |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
ガスの流量を質量基準で制御する機器。
「质量流量控制器」、略称 MFC。単位 sccm は訳さず原表記。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。