計測（メトロロジ）

定義

寸法や膜厚などを測定し、工程を管理すること。

訳し分け・誤訳の注意

半導体の工程内計測は「量测」、計量標準に関わる計量学は「计量」。日本語がどちらも「計測／計量」であるため、文脈で分ける。

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