| 日本語 | 計測(メトロロジ) |
|---|---|
| 中国語(簡体字) | 量测/计量 |
| English | metrology |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
寸法や膜厚などを測定し、工程を管理すること。
半導体の工程内計測は「量测」、計量標準に関わる計量学は「计量」。日本語がどちらも「計測/計量」であるため、文脈で分ける。
寸法や膜厚などを測定し、工程を管理することです。工程内計測と計量標準に関わる計量学で訳語が分かれ、日本語ではどちらも「計測」と呼ばれます。装置の仕様書と品質マニュアルで語が変わります。測定の頻度と抜取の方法も工程条件に含まれ、管理の設計の一部になります。
工程内計測を計量学の語で訳した装置仕様書があり、標準器の話と受け取られました。文脈で語が変わります。
計測装置で膜厚を測定します。/ 使用量测设备测量膜厚。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。