マルチパターニング
| 日本語 | マルチパターニング |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 多重曝光/多重图形化 |
| English | multi-patterning |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
定義
複数回の露光で解像限界を超える微細パターンを形成する手法。
訳し分け・誤訳の注意
「多重图形化」。SADP／SAQP などの略号は原表記のまま。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。
| 日本語 | マルチパターニング |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 多重曝光/多重图形化 |
| English | multi-patterning |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
複数回の露光で解像限界を超える微細パターンを形成する手法。
「多重图形化」。SADP／SAQP などの略号は原表記のまま。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。