OPC(光近接効果補正)

日本語OPC(光近接効果補正)
中国語(簡体字)光学邻近效应修正
Englishoptical proximity correction
分野半導体・電子部品

定義

回折の影響を見込んでマスクパターンをあらかじめ補正する技術。

訳し分け・誤訳の注意

「光学邻近效应修正」、略称 OPC。

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