パーティクル（微粒子）

定義

歩留まりを下げる原因となる微小な異物。

訳し分け・誤訳の注意

「颗粒」。「粒子」は物理的な粒子一般を指すため、汚染としての微粒子は「颗粒」。パーティクル管理は「颗粒控制」。

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