RCA洗浄

日本語RCA洗浄
中国語(簡体字)RCA清洗
EnglishRCA clean
分野半導体・電子部品

定義

半導体ウェハの標準的な薬液洗浄手順。

訳し分け・誤訳の注意

固有名詞のため RCA はそのまま。薬液の組成(SC-1、SC-2)も原表記。

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