レチクル

定義

露光装置で縮小投影に用いる原版。フォトマスクの一種。

訳し分け・誤訳の注意

「掩模版」。フォトマスク（光掩模）と同義に扱われることもあるが、ステッパで縮小投影する原版を特に指す。

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