膜厚

日本語膜厚
中国語(簡体字)膜厚/厚度
Englishfilm thickness
分野半導体・電子部品

定義

成膜した薄膜の厚さ。

訳し分け・誤訳の注意

「膜厚」。単位(nm、Å)は原文どおり。オングストロームを nm へ換算しない —— 装置の設定値と一致しなくなる。

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