測定データを統計的に監視し、工程の異常を検出する管理。
「统计过程控制」。半導体では装置ごと・工程ごとに管理項目が定義され、逸脱時の対応手順(OCAP)と対で運用される。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。
既存文書から用語を抽出し、貴社標準の用語データベースを整備します。 作成した用語集は貴社に帰属し、社内のAI翻訳にも組み込めます。