特殊材料ガス

定義

成膜やエッチングに用いる高純度ガス。多くは毒性や腐食性を持つ。

訳し分け・誤訳の注意

「特种气体」。「特气」と略される。安全データシート（安全数据表）が必ず伴う。

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