段差被覆性

日本語段差被覆性
中国語(簡体字)台阶覆盖率
Englishstep coverage
分野半導体・電子部品

定義

凹凸のある表面に対し、膜が均一に付く度合い。

訳し分け・誤訳の注意

「台阶覆盖率」。「覆盖性」だけでは数値としての指標であることが伝わらない。

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