ステッパ／スキャナ

定義

ウェハ上を順次移動しながら露光する装置。

訳し分け・誤訳の注意

「步进式光刻机」「扫描式光刻机」。「曝光机」でも通じるが、装置仕様書では方式まで書き分ける。

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