TEG（評価用素子）
| 日本語 | TEG（評価用素子） |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 测试图形/工艺监控图形 |
| English | test element group |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
定義
工程の状態を測るためにウェハ上に作り込む評価用パターン。
訳し分け・誤訳の注意
「测试图形」。TEG、PCM などの略号が併用される。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。
| 日本語 | TEG（評価用素子） |
|---|---|
| 中国語（簡体字） | 测试图形/工艺监控图形 |
| English | test element group |
| 分野 | 半導体・電子部品 |
工程の状態を測るためにウェハ上に作り込む評価用パターン。
「测试图形」。TEG、PCM などの略号が併用される。
本ページは技術文書の翻訳実務にもとづく用語の対応関係を示すものです。 法令上の定義や適用範囲を示すものではありません。