面内均一性

定義

ウェハ面内での膜厚や特性のばらつきの小ささ。

訳し分け・誤訳の注意

「均匀性」。面内は「片内」、ロット間は「批间」。どの範囲のばらつきかを落とすと、仕様の意味が変わる。

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