真空ポンプ

日本語真空ポンプ
中国語(簡体字)真空泵
Englishvacuum pump
分野半導体・電子部品

定義

装置内を減圧するポンプ。ドライポンプ、ターボ分子ポンプなど。

訳し分け・誤訳の注意

「真空泵」。到達真空度は「极限真空度」、排気速度は「抽速」。

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