洗浄装置(ウェットベンチ)

日本語洗浄装置(ウェットベンチ)
中国語(簡体字)湿法清洗设备
Englishwet bench
分野半導体・電子部品

定義

薬液でウェハを洗浄する装置。

訳し分け・誤訳の注意

「湿法清洗设备」。薬液は「化学品」または「药液」。

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